X ZR 163/18

ECLI:DE:BGH:2020:221020UXZR163.18.0 BUNDESGERICHTSHOF IM NAMEN DES VOLKES URTEIL X ZR 163/18 Verkündet am: 22. Oktober 2020 Anderer Justizangestellte als Urkundsbeamtin der Geschäftsstelle in der Patentnichtigkeitssache - 2 - Der X. Zivilsenat des Bundesgerichtshofs hat auf die mündliche Verhandlung vom 22. Oktober 2020 durch den Vorsitzenden Richter Dr. Bacher, die Richterinnen Dr. Kober-Dehm, Dr. Marx und Dr. Rombach sowie den Richter Dr. Rensen für Recht erkannt: Die Berufung gegen das Urteil des 3. Senats (Nichtigkeitssenats) des Bundespatentgerichts vom 10. April 2018 wird auf Kosten der Klägerin zurückgewiesen. Von Rechts wegen - 3 - Tatbestand: Die Beklagte ist Inhaberin des mit Wirkung für die Bundesrepublik Deutschland erteilten europäischen Patents 1 412 307 (Streitpatents), das am 5. September 2002 unter Inanspruchnahme der Priorität einer deutschen Patent- anmeldung vom 1. Oktober 2001 angemeldet wurde und ein Verfahren zum Her- stellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien betrifft. Patentanspruch 1, auf den 24 weitere Ansprüche zurückbezogen sind, lautet in der Verfahrenssprache: Verfahren zum Herstellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien, insbesondere Metall-Keramik-Substraten, bei dem (Verfahren) als Verbindungskomponenten wenigstens ein vorzugsweises plattenförmiges Keramiksubstrat mit einer oxidier- ten Metallfolie verbunden wird, und zwar durch Erhitzen unter Schutzgas auf eine Prozesstemperatur, die unterhalb des Schmelzpunkts des Metalls der Metallfolie liegt, aber wenigstens gleich der Schmelztemperatur des von der Oxidschicht ge- bildeten Eutektikums ist, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Keramiksubstrat und die mit diesem zu verbindende wenigstens eine Metallfolie während des Verfahrens in einem von einer Kapsel (1, 1a, 1b, 1c) gebildeten Reaktionsraum (8, 8c) mit einer inneren Schutzgasatmosphäre untergebracht sind, die durch die Kapsel (1, 1a, 1b, 1c) von einer diese Kapsel umgebenden äußeren Schutzgasatmosphäre getrennt ist. Die Klägerin hat das Streitpatent wegen nicht ausführbarer Offenbarung und fehlender Patentfähigkeit angegriffen. Die Beklagte hat das Streitpatent wie erteilt und mit drei Hilfsanträgen in geänderten Fassungen verteidigt. Das Patentgericht hat die Klage abgewiesen. In der Berufung verfolgt die Klägerin ihr erstinstanzliches Begehren weiter. Die Beklagte tritt dem Rechtsmit- tel entgegen. Hilfsweise verteidigt sie das Schutzrecht in der Fassung der erst- instanzlichen Hilfsanträge. 1 2 3 - 4 - Entscheidungsgründe: Die zulässige Berufung ist unbegründet. I. Das Streitpatent betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Metall- Keramik-Verbundmaterialien. 1. Nach den Ausführungen in der Streitpatentschrift waren im Stand der Technik verschiedene Verfahren etabliert, um Metall mit Keramik ohne Zwi- schenschicht zu verbinden (Direct Bonding). Ein Beispiel hierfür sei das Direct Copper Bonding (DCB), bei dem Kupfer direkt mit einer Keramik verbunden werde. Dieses Verfahren werde aufgrund sei- ner guten Wärmeleitfähigkeit häufig in der Leistungselektronik eingesetzt und finde sich in einer Vielzahl von Anwendungen wieder, etwa in elektrischen An- triebssystemen von Kraftfahrzeugen, Liften und Zügen. Beim Direct-Bonding-Verfahren würden die beiden zu verbindenden Kom- ponenten auf eine Prozesstemperatur gebracht, bei der eine mit Hilfe eines re- aktiven Gases erzeugte Oberflächenschicht des Metalls schmelze und die Kera- mik benetze. Beim anschließenden Abkühlen stelle die aufgeschmolzene Schicht eine Verbindung zwischen Metall und Keramik her. Die Oberflächenschicht des Metalls wirke als Eutektikum, so dass die Prozesstemperatur beim Verbinden unterhalb der Schmelztemperatur des Metalls liege (Abs. 2). Beim Einsatz von Kupfer könne die Oberflächenschicht zum Beispiel durch Oxidation in einer Sauerstoff enthaltenden Schutzgasatmosphäre aufge- bracht werden, sei es in unmittelbarem Zusammenhang mit dem Bonding-Vor- gang, sei es in einem separaten Verfahrensschritt. Bei bekannten Verfahren liege der Sauerstoffgehalt der Schutzgasatmosphäre weit über dem Gleichgewichts- gehalt des Systems Kupfer-Sauerstoff (Abs. 7), der im Bereich zwischen 2 und 6 ppm liege (Abs. 13). Dies führe dazu, dass während des Bonding-Vorgangs eine Nachoxidation stattfinde (Abs. 14). 4 5 6 7 8 9 - 5 - 2. Der Erfindung liegt vor diesem Hintergrund das technische Prob- lem zugrunde, ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, bei dem Qualitätsverluste durch eine Nachoxidation während des Bonding-Vorgangs möglichst vermieden werden. 3. Zur Lösung schlägt Patentanspruch 1 ein Verfahren vor, dessen Merkmale sich wie folgt gliedern lassen: 1. Das Verfahren dient dem Herstellen von Metall-Keramik-Ver- bundmaterialien, insbesondere Metall-Keramik-Substraten. 2. Wenigstens ein vorzugsweise plattenförmiges Keramiksub- strat wird mit einer oxidierten Metallfolie verbunden, und zwar 2.1 durch Erhitzen unter Schutzgas 2.1.1 auf eine Prozesstemperatur, die unterhalb des Schmelzpunkts des Metalls der Metallfolie liegt, aber wenigstens gleich der Schmelztemperatur des von der Oxidschicht gebildeten Eutektikums ist. 2.2 Das wenigstens eine Keramiksubstrat und die mit diesem zu verbindende wenigstens eine Metallfolie sind während des Verfahrens in einem von einer Kapsel gebildeten Reaktions- raum mit einer inneren Schutzgasatmosphäre untergebracht. 2.2.1 Die innere Schutzgasatmosphäre ist durch die Kapsel von einer diese umgebenden äußeren Schutzgasatmosphäre ge- trennt. 4. Einige Merkmale bedürfen näherer Betrachtung. a) Schutzgas im Sinn von Merkmal 2.1 ist ein Gas oder Gasgemisch, das unerwünschten chemischen Reaktionen aufgrund des Vorhandenseins von Luft entgegenwirkt. 10 11 12 13 - 6 - Bei dem in der Streitpatentschrift geschilderten Ausführungsbeispiel wird das Schutzgas dazu eingesetzt, die im Ofen und in der Kapsel vorhandene Luft, vor allem den darin enthaltenen Sauerstoff zu verdrängen (Abs. 20 Z. 36-37; Abs. 23). Auf welche Weise dies geschieht, insbesondere welche Gase und Druckverhältnisse für diesen Zweck eingesetzt werden, bleibt nach Patentan- spruch 1 dem Fachmann überlassen. Entgegen der Auffassung der Berufung darf die Entfernung der Luft jedoch nicht allein dadurch geschehen, dass ein Vakuum hergestellt, also der Druck auf einen sehr geringen Wert reduziert wird. Zwar könnte möglicherweise auch auf diesem Weg die vom Streitpatent angestrebte Reduzierung des Sauerstoffge- halts erreicht werden. Patentanspruch 1 sieht zur Erreichung dieses Zwecks aber ein bestimmtes Mittel vor, nämlich den Einsatz von Schutzgas. Daraus ergibt sich, dass ein bloßes Entfernen der vorhandenen Luft nicht ausreicht, sondern die vorhandene Luft jedenfalls zum Teil durch andere Gase ersetzt werden muss. Dass die Beschreibung des Streitpatents bei der Darstellung des Stands der Technik auch Verfahren erwähnt, bei denen ein Vakuum eingesetzt wird, führt nicht zu einer abweichenden Beurteilung. Der Umstand, dass in diesem Zusam- menhang sowohl Verfahren unter Vakuum als auch Verfahren unter Schutzgas- atmosphäre angeführt werden, Patentanspruch 1 hingegen ein Verfahren unter Schutzatmosphäre vorgibt, bestätigt vielmehr das oben aufgezeigte Auslegungs- ergebnis. b) Die in Merkmal 2.2 formulierte Anforderung, dass Keramiksubstrat und Metallfolie während des Verfahrens in einer Kapsel mit einer inneren Schutz- gasatmosphäre untergebracht sind, bezieht sich lediglich auf den Zeitraum, in dem die Materialien auf die für den Bonding-Vorgang eingesetzte Prozesstem- peratur erhitzt werden, und den nachfolgenden Zeitraum, in dem der Bonding- Vorgang stattfindet. Für eine eventuell vorgelagerte Phase, in dem die Materia- lien zunächst auf eine niedrigere Temperatur aufgeheizt werden, und für die dem 14 15 16 17 - 7 - Bonding-Vorgang nachgelagerte Abkühlphase ergeben sich aus diesem Merk- mal deshalb entgegen der Auffassung des Patentgerichts keine zwingenden Vor- gaben. aa) Für diese Auslegung spricht, wie die Berufung zu Recht geltend macht, der Wortlaut des Anspruchs. Die genannte Anforderung bezieht sich auf die Dauer des geschützten Verfahrens. Das Verfahren des Verbindens erfolgt durch Erhitzen unter Schutz- gas auf die gewünschte Prozesstemperatur (Merkmal 2.1). Demgemäß gehören zu diesem Verfahren nach Patentanspruch 1 nur die Phase des Aufheizens auf die Prozesstemperatur und der Bonding-Vorgang selbst. bb) Aus der Beschreibung können keine weitergehenden Festlegungen abgeleitet werden. Das in der Beschreibung geschilderte Ausführungsbeispiel umfasst zwar als weiteren Verfahrensschritt das Abkühlen der Kapsel und der darin aufgenom- menen Komponenten, und zwar ebenfalls unter Schutzgas (Abs. 19 Z. 31-33). Dieser Verfahrensschritt hat in Patentanspruch 1 aber keinen Niederschlag ge- funden. Angesichts dessen bildet die in Rede stehende Passage der Beschrei- bung keine taugliche Grundlage für eine einschränkende Auslegung des Pa- tentanspruchs. cc) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts und der Beklagten spricht Patentanspruch 24 nicht für, sondern gegen eine einschränkende Ausle- gung von Patentanspruch 1. Der auf Patentanspruch 1 zurückbezogene Patentanspruch 24 sieht als ergänzende Merkmale vor, dass in einem Durchlaufofen vor dem Bonding-Vor- gang bzw. vor dem Erhitzen auf die Prozesstemperatur eine Aufheizung der Kap- sel erfolgt und nach dem Bonding-Vorgang eine Abkühlung, und zwar jeweils in der äußeren Schutzgasatmosphäre. 18 19 20 21 22 23 - 8 - Entgegen der Auffassung der Beklagten konkretisiert dieser Anspruch den Gegenstand von Patentanspruch 1 nicht nur dahin, dass die Heiz- und Abkühl- vorgänge in einem Durchlaufofen stattfinden. Er sieht mit dem vorgelagerten Auf- heiz- und dem nachgelagerten Abkühlvorgang vielmehr zwei zusätzliche Verfah- rensschritte vor. Daraus ist zu folgern, dass diese Schritte nicht zwingend zu dem in Patentanspruch 1 geschützten Verfahren gehören. c) Die in Merkmal 2.2.1 vorgesehene Trennung der inneren von der äußeren Schutzgasatmosphäre durch die in Merkmal 2.2 vorgesehene Kapsel muss nicht zwingend so ausgestaltet sein, dass ein Gasaustausch nicht mehr stattfinden darf. Erforderlich und ausreichend ist vielmehr, dass ein Gasaus- tausch so weit unterbunden wird, dass der Sauerstoffgehalt in der inneren Schutzgasatmosphäre näher am Gleichgewichtswert ist als in der äußeren Schutzgasatmosphäre. aa) Nach der Beschreibung kann die Trennung nicht nur durch eine vollständige Kapselung (Abs. 31) erfolgen, sondern auch durch eine Kapselung, bei der nur ein Teil der von der Kapsel umspannten Oberfläche geschlossen ist. Als bevorzugt wird eine Kapselung von 60-95 % bezeichnet (Abs. 26 Z. 27). Die Auswahl des konkreten Kapselungsgrads bleibt dem Fachmann überlassen. Be- sondere Bedeutung wird dem Zusammenhang zwischen dem Kapselungsgrad und dem Sauerstoffgehalt der äußeren Schutzgasatmosphäre beigemessen. So werden beispielhaft folgende Kombinationen als geeignet angeführt (Abs. 27): Kapselung Sauerstoffgehalt 60 bis 80 % 2 bis 20 ppm 80 bis 95 % 50 bis 200 ppm oder 1 bis 20 ppm Über 95 % Über 200 ppm oder unter 20 ppm Zur Erläuterung wird ausgeführt, mit zunehmendem Aufheizen der Kapsel nehme die Rate der Diffusion zwischen äußerer und innerer Schutzgasat- 24 25 26 27 - 9 - mosphäre ab. Deshalb trete auch dann eine Trennung oder nahezu eine Tren- nung der beiden Atmosphären ein, wenn die Kapsel Öffnungen aufweise (Abs. 26). bb) Vor diesem Hintergrund sind die Merkmale 2.2 und 2.2.1 dahin aus- zulegen, dass nicht die Gasdurchlässigkeit der Kapsel als solche ausschlagge- bend ist, sondern die Möglichkeit eines Gasaustauschs während des Aufheizens auf die Prozesstemperatur und während des Bonding-Vorgangs. Diese Möglich- keit muss so weit unterbunden werden, dass der Sauerstoffgehalt der inneren Schutzgasatmosphäre näher an dem angestrebten Gleichgewichtswert ist als derjenige der äußeren Schutzgasatmosphäre. Mit welchen Mitteln diese Funktion verwirklicht wird, überlässt das Streit- patent dem Fachmann. Aus den oben wiedergegebenen Ausführungen zum Zu- sammenhang zwischen Kapselungsgrad und Sauerstoffgehalt ergibt sich als eine mögliche Vorgehensweise, den Kapselungsgrad umso höher zu wählen, je weiter der Sauerstoffgehalt der äußeren Schutzgasatmosphäre von dem ange- strebten Zielwert abweicht. Patentanspruch 1 sieht diese Vorgehensweise aber nicht zwingend vor. cc) Dass die in der Streitpatentschrift gegebene Erklärung, wie auch die Beklagte nicht in Zweifel zieht, unzutreffend ist, die Diffusionsrate mit zuneh- mender Temperatur vielmehr steigt, führt nicht zu einer abweichenden Beurtei- lung. Diese Erklärung hat in Patentanspruch 1 keinen Niederschlag gefunden. Dieser lässt gerade offen, auf welche Weise und mit Hilfe welches naturwissen- schaftlichen Effekts der Fachmann die vorgegebene Trennung bewirkt. Darüber hinaus enthält die Beschreibung Hinweise auf eine andere Mög- lichkeit, um die Trennung zu erreichen, nämlich die Strömungsrichtung des zu- geführten Schutzgases. Hierzu wird ausgeführt, der Effekt könne durch eine ge- zielte Stromführung der äußeren Schutzgasatmosphäre verstärkt werden, und 28 29 30 31 32 - 10 - zwar dadurch, dass am Anfang zum Spülen die Strömung auf die Öffnungen der jeweiligen Kapsel gerichtet sei, beim eigentlichen Bonding-Vorgang hingegen auf die geschlossene Fläche der Kapsel (Abs. 23 Z. 3-6). dd) Patentanspruch 1 legt keinen Mindestgrad für die Kapselung fest. Die erwähnten Bereichsangaben in der Beschreibung umschreiben nur als besonders vorteilhaft angesehene Werte. Im Patentanspruch haben sie keinen Niederschlag gefunden. ee) Aus der oben dargestellten Funktion, die der Kapsel nach dem Streitpatent zukommt, ergibt sich allerdings, dass die Kapsel das darin unterge- brachte Material auf mehreren Seiten umgeben muss. Dies steht in Einklang mit den Ausführungsbeispielen, die in den Figuren 1, 3, 4 und 5 dargestellt sind. In den Figuren 3 und 4 weisen die Seitenwände zwar zunehmend größere Aussparungen auf und in Figur 5 sind Boden und De- ckel nur noch durch vier in den Eckbereichen angebrachte Stützen miteinander verbunden. Dennoch umgibt die Kapsel das darin angeordnete Material von allen Seiten, wenn auch nicht überall vollflächig. II. Das Patentgericht hat seine Entscheidung im Wesentlichen wie folgt begründet: Der Gegenstand von Patentanspruch 1 in der erteilten Fassung sei so deutlich und vollständig offenbart, dass der Fachmann, ein Ingenieur der Materialwissenschaften mit mehrjähriger Erfahrung auf dem Gebiet der Leiter- plattentechnologie, die Erfindung ausführen könne. Die Streitpatentschrift gebe für die Trennung der inneren und äußeren Atmosphäre eine Kapsel vor, die zu- mindest zu 60 % geschlossen sei. Damit sei es dem Fachmann möglich, die er- findungsgemäße Lehre auch im Hinblick auf die Merkmalsgruppe 2.2 auszufüh- ren. Für die Realisierung der Trennung seien in der Streitpatentschrift mit den Angaben zur Strömungsführung, den Richtwerten für den Sauerstoffgehalt in der 33 34 35 36 37 38 - 11 - äußeren Schutzgasatmosphäre und den angeführten Versuchsergebnissen Pa- rameter genannt, anhand derer die Lehre für den Fachmann ohne weiteres um- setzbar sei. Konkrete Zahlenwerte für die genannten Parameter könne der Fach- mann ohne erfinderisches Bemühen auffinden und sich mit Hilfe orientierender Versuche Klarheit über deren Größenordnung bei der Durchführung des patent- gemäßen Bonding-Verfahrens verschaffen. Die erfindungsgemäße Lehre erfor- dere keine vollständige Trennung der Atmosphären bei einer teilweise offenen Kapsel. Der Gasaustausch werde während des Bonding-Prozesses minimiert. Die beanspruchte Trennung der Schutzgasatmosphären stelle sich in Folge der Strömungsführung und der Regelung des Sauerstoffgehalts in der äußeren Schutzgasatmosphäre in Abhängigkeit von dem gewählten Kapselgrad zwangs- läufig ein. Der Gegenstand von Patentanspruch 1 in der erteilten Fassung sei neu. In der japanischen Offenlegungsschrift Hei9-301783 (K4) sei Merkmal 2.2 nicht offenbart. Metall und Keramiksubstrat seien nur während des Erhitzens auf eine Temperatur oberhalb der eutektischen Reaktionstemperatur in einer Kapsel untergebracht, nicht aber während des Vorwärmens und Abkühlens. Die japani- sche Offenlegungsschrift Hei11-60345 (K5) offenbare die Herstellung eines Ver- bundkörpers aus Keramik- und Metallplatten, in einem Aktivmetall-Hartlöt- oder DBC-Verfahren. Die Verbindung erfolge in einem Vakuum, nicht in einer Schutz- gasatmosphäre. Die deutsche Offenlegungsschrift 26 33 869 (K6) beschreibe ein Verfahren zur Herstellung von Metall-Keramik-Verbundmaterialien mit Hilfe eines direkten Verbindungsprozesses. Zur Erzielung einer verbesserten Haftfestigkeit werde eine Beschwerung bzw. Einrahmung mit feuerfesten Steinen vorgesehen. Diese könnten zwar als kapselförmige Einrahmung aufgefasst werden. Es fehlten jedoch Angaben, anhand derer der Fachmann eine valide Berechnung des Kap- selgrades anstellen könne. Der Gegenstand von Patentanspruch 1 beruhe auch auf erfinderischer Tä- tigkeit. 39 40 41 - 12 - Die US-amerikanische Patentschrift 4 483 810 (K7) offenbare ein Verfah- ren zur Herstellung von Metall-Keramik-Verbundmaterialien unter Schutzgasat- mosphäre mit einem Sauerstoffgehalt von 20 bis 50 ppm. Es fehle jedoch eine Offenbarung, die Materialien hierbei in einer Kapsel zu positionieren. Eine solche Anregung erhalte der Fachmann nicht aus der japanischen Offenlegungsschrift Hei5-139849 (K8). Dort sei eine Abdeckung nur für die Herstellung mittels Lötver- fahren vorgesehen. Dies veranlasse den Fachmann nicht zur Kapselung bei der Herstellung im Direkt-Bonding-Verfahren. Gleiches gelte für die US-amerikanische Patentschrift 4 609 409 (K24). Diese betreffe ein Verfahren für die Wärmebehandlung von mit Kupferfilmen be- schichteten Keramiken, bei dem die Verbundmaterialien während der Wärmebe- handlung in einem Behälter untergebracht seien. Die Kupferfilme würden durch stromloses Plattieren, Vakuumverdampfung, Sputtern oder Ionenplattieren er- zeugt. Angesichts dessen habe der Fachmann ausgehend von K7 keinen Anlass gehabt, auf diese Veröffentlichung zurückzugreifen. Eine andere Betrachtung er- gebe sich aus den gleichen Erwägungen auch nicht aus der US-amerikanischen Patentschrift 5 741 131 (K3), die ein Stapelsystem für das Sintern von Kera- miksubstraten lehre. Gleiches gelte für die japanische Offenlegungsschrift Hei10- 158073 (K9). Dies betreffe ein Aktivmetall-Hartlötverfahren. Die französische Patentschrift 1 326 156 (K10) offenbare ein Verfahren zur Herstellung von keramischen Werkstoffen, bei dem diese in verschiedenen gasförmigen Atmosphären behandelt würden. Zur Vereinfachung der bekannten Verfahren, bei denen für die jeweilige Atmosphäre ein Ofen benötigt werde, schlage die Veröffentlichung die Verwendung von Transportelementen vor, in de- nen die Werkstoffe durch einen Tunnelofen geleitet würden. Hierdurch bildeten sich verschiedene Zonen und Atmosphären mit unterschiedlichen Sauerstoffge- halten innerhalb des Ofens. Dieser liege jedoch mit Werten von 4 % bzw. 14 % in einer anderen Größenordnung als beim Direct-Bonding-Verfahren. Der Fach- mann werde demgemäß nicht veranlasst, die Transportelemente der K10 in einem Verfahren gemäß K7 einzusetzen. 42 43 44 - 13 - Die US-amerikanische Patentschrift 4 860 939 (K13) beschreibe ein Direct-Bonding-Verfahren von Kupfer und Aluminium, das in einer Schutzgas- atmosphäre stattfinde. Allerdings fehle ein Hinweis auf die Verwendung einer Kapsel. III. Diese Beurteilung hält den Angriffen der Berufung stand. 1. Zu Recht hat das Patentgericht angenommen, dass die Erfindung so deutlich und vollständig offenbart ist, dass der Fachmann sie ausführen kann. a) Eine für die Ausführbarkeit hinreichende Offenbarung ist gegeben, wenn der Fachmann ohne erfinderisches Zutun und ohne unzumutbare Schwie- rigkeiten in der Lage ist, die Lehre des Patentanspruchs auf Grund der Gesamt- offenbarung der Patentschrift in Verbindung mit dem allgemeinen Fachwissen am Anmelde- oder Prioritätstag praktisch so zu verwirklichen, dass der ange- strebte Erfolg erreicht wird (BGH, Urteil vom 11. Mai 2010 - X ZR 51/06, GRUR 2010, 901 Rn. 31 - Polymerisierbare Zementmischung). b) Diese Anforderungen sind im Streitfall erfüllt. aa) Nach den Feststellungen des Patentgerichts kann der Fachmann anhand der in der Patentschrift enthaltenen Hinweise zum Kapselungsgrad, zum Sauerstoffgehalt und zur Strömungsführung Rahmenbedingungen identifizieren, anhand derer er durch Routineversuche geeignete Kapselungen ermitteln kann. Diese Feststellungen tragen die vom Patentgericht gezogene Schlussfolgerung, dass die Erfindung ausführbar offenbart ist. Dabei kann offenbleiben, ob es für eine ausführbare Offenbarung schon ausreichend ist, dass, wie auch die Klägerin nicht in Zweifel zieht, eine Trennung der Atmosphären durch die Verwendung einer geschlossenen Kapsel erreicht werden kann oder ob der Einsatz einer teilweise offenen Kapsel eine gesondert zu bewertende Ausführungsvariante darstellt, für die das Patent ebenfalls einen 45 46 47 48 49 50 51 - 14 - ausführbaren Weg aufzeigen muss. Aus den genannten Feststellungen des Pa- tentgerichts ergibt sich, dass das Streitpatent auch der zuletzt genannten Anfor- derung genügt. bb) Die Berufung zeigt keine konkreten Anhaltspunkte auf, die Zweifel an der Vollständigkeit und Richtigkeit dieser Feststellungen begründen. (1) Der von der Berufung erhobene Einwand, in einem herkömmlichen Tunnel- oder Durchlaufofen komme es zwangsläufig zu turbulenten Strömungen, die eine Trennung nicht ermöglichten, ist für die rechtliche Beurteilung unerheb- lich. Patentanspruch 1 schreibt den Einsatz eines solchen Ofens nicht zwin- gend vor. Selbst wenn das Vorbringen der Berufung inhaltlich zuträfe, bliebe dem Fachmann damit die Möglichkeit, einen anderen Ofentyp einzusetzen und - er- forderlichenfalls durch modifizierte Anordnung und Ausrichtung der Düsen - die Strömung so zu führen, dass im Wesentlichen nur laminare Strömungen auftre- ten. Dass eine Trennung zumindest bei solchen Strömungen möglich ist, zieht auch die Berufung nicht in Zweifel. (2) Der Vortrag der Berufung zu den erstmals in der Berufungsinstanz vorgelegten Ergebnissen einer experimentellen Nacharbeitung der in der Be- schreibung des Streitpatents geschilderten Beispiele (K27) ist gemäß § 117 PatG und § 531 Abs. 2 Nr. 3 ZPO nicht zu berücksichtigen. Das Patentgericht hat bereits in seinem nach § 83 Abs. 1 PatG erteilten Hinweis mitgeteilt, dass die Ausführbarkeit zu bejahen sein dürfte. Dies gab der Klägerin Anlass, ihren Vortrag zur Frage der hinreichenden Offenbarung gege- benenfalls zu ergänzen. Entgegen der Auffassung der Berufung rechtfertigen die Ausführungen des Patentgerichts im angegriffenen Urteil keine abweichende Beurteilung. Das 52 53 54 55 56 57 - 15 - Patentgericht hat sein Urteil insoweit ausschließlich auf Gesichtspunkte gestützt, die es schon im qualifizierten Hinweis zum Ausdruck gebracht hat. (3) Unabhängig davon führt das ergänzende Vorbringen auch in der Sache nicht zu einer abweichenden Beurteilung. Die vorgelegten Untersuchungsergebnisse bestätigen, dass eine hohe Ab- reißfestigkeit erzielt wird. Dass es in bestimmten Konstellationen zu Oxidationen an der Oberfläche kommen kann, ist auch in der Streitpatentschrift vermerkt. (4) Aus der von der Beklagten stammenden internationalen Anmel- dung WO 2011/09817 (K18) ergibt sich ebenfalls keine abweichende Beurtei- lung. Dabei kann dahingestellt bleiben, ob und inwieweit dieser nach dem Prio- ritätstag veröffentlichten Entgegenhaltung indizieller Wert für die Ausführbarkeit zukommen kann. Abweichend von der Auffassung der Berufung lässt sich der Entgegenhaltung jedenfalls nicht entnehmen, dass darin eine Trennung der bei- den Atmosphären im Fall einer nur teilweisen Kapselung als nicht möglich ange- sehen wird. (5) Die bereits oben erwähnten Ausführungen in der Beschreibung des Streitpatents zum Zusammenhang zwischen Sauerstoffgehalt und Kapselungs- grad sind entgegen der Auffassung der Berufung nicht in sich sinnwidrig. Wie bereits oben dargelegt wurde, ist diesen Angaben zu entnehmen, dass der Kapselungsgrad umso höher sein sollte, je mehr der Sauerstoffgehalt der äußeren Schutzgasatmosphäre von dem angestrebten Gleichgewichtswert abweicht. Diese Annahme erscheint plausibel, weil ein höherer Kapselungsgrad einen geringeren Gasaustausch erwarten lässt. (6) Dass die Patentschrift kein Messverfahren angibt, um die Differenz des Sauerstoffgehalts der beiden Atmosphären zu bestimmen, ist unschädlich. 58 59 60 61 62 63 64 - 16 - Wie das Patentgericht zutreffend ausgeführt hat, genügt es, wenn eine solche Differenz hergestellt werden kann. Eine Messung ist schon deshalb nicht erforderlich, weil Patentanspruch 1 keine bestimmten Werte vorgibt. 2. Im Ergebnis zu Recht hat das Patentgericht angenommen, dass der Gegenstand von Patentanspruch in K4 nicht vollständig offenbart ist. a) K4 offenbart ein Verfahren, bei dem ein Metall direkt mit einem Ke- ramiksubstrat verbunden wird (K4a Abs. 1). Hierfür wird auf das Metall eine Oxid- schicht aufgebracht (K4a Abs. 8). Das Erhitzen der Materialien erfolgt in einer kombinierten Aufheizvorrichtung 6, die in der nachfolgend wiedergegebenen Fi- gur 1 (mit übersetzter Beschriftung aus K4a) schematisch dargestellt ist. Die Heizvorrichtung 6 besteht aus einem Durchlaufofen 8 und einer Mikrowellenvorrichtung 7. Letztere weist zwei Öffnungen 72 und 73 auf, durch welche die Materialien zu- und abgeführt werden können (K4a Abs. 39, 42, 46). 65 66 67 68 - 17 - In dem Ofen herrscht eine inerte Atmosphäre (K4a Abs. 18, 37) aus Stick- stoff und optional Argon mit einem Sauerstoffanteil von 5 bis 20 ppm (K4a Abs. 19) bzw. 5 bis 15 ppm (K4a Abs. 37). Zunächst werden die Materialien in dem Durchlaufofen 8 vorerwärmt, bevor sie in eine in der Ofenkammer integrierte Mikrowellenheizvorrichtung 7 eingefahren werden (K4a Abs. 14, 34). Dort wer- den die Materialien mittels Mikrowellenbestrahlung auf 1075 °C erhitzt (K4a Abs. 43). Diese Temperatur ist geringer als der Schmelzpunkt des Metalls, der mit 1083 °C angegeben wird, und höher als die Eutektikumtemperatur von 1065 °C (K4a Abs. 46). Anschließend werden die Materialien aus der Vorrichtung 7 herausgefahren und zuletzt in der Ofenkammer auf Raumtemperatur abgekühlt (K4a Abs. 46). b) Damit sind, wie das Patentgericht unangegriffen angenommen hat, die Merkmale 1, 2, 2.1 und 2.1.1 offenbart. c) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts ist auch Merkmal 2.2 offenbart. aa) Entgegen der Auffassung der Beklagten bildet das Gehäuse der Mikrowellenheizvorrichtung 7 eine Kapsel, die die darin befindlichen Produkte von dem umgebenden Raum des Ofens abtrennt. Dass die Kapsel zwei Öffnungen 72 und 73 aufweist, durch die das Mate- rial zu- und abgeführt wird, ist unerheblich. Eine erfindungsgemäße Kapsel muss aus den oben angeführten Gründen nicht vollständig geschlossen sein. Die Dar- stellung in K4 ermöglicht zwar keine exakte Bemaßung. Sie lässt aber dennoch hinreichend deutlich einen Kapselungsgrad erkennen, der innerhalb der in der Beschreibung des Streitpatents genannten Größenordnungen liegt. Ob ein Kapselungsgrad von 60 % erreicht wird, ist ebenfalls unerheblich. Patentanspruch 1 gibt keinen diesbezüglichen Mindestwert vor. 69 70 71 72 73 74 - 18 - bb) Dass sich das Material nur während der letzten Aufheizphase und des Bonding-Vorgangs in der Kapsel befindet, nicht aber während des Vorwärm- und Abkühlvorgangs, steht der Offenbarung von Merkmal 2.2 ebenfalls nicht ent- gegen. Wie bereits oben aufgezeigt wurde, stellt Patentanspruch 1 hinsichtlich der Anwärm- und Abkühlphase keine Vorgaben auf. d) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts fehlt es jedoch an einer Offenbarung von Merkmal 2.2.1. aa) K4 enthält keine Angaben zu einer Trennung der Atmosphären in- nerhalb und außerhalb der Mikrowellenheizvorrichtung 7. bb) Eine solche Trennung lässt sich auch nicht aus dem Zusammen- hang entnehmen. K4 beschreibt nur die Zusammensetzung und den Sauerstoffgehalt inner- halb der Mikrowellenheizvorrichtung 7. Dies lässt zwar die Möglichkeit offen, dass die Atmosphäre im übrigen Bereich des Ofens anders zusammengesetzt ist. Unmittelbare und eindeutige Angaben dazu lassen sich K4 aber nicht entneh- men. cc) Entgegen der Auffassung der Klägerin ergeben sich aus K4 keine hinreichenden Anhaltspunkte dafür, dass sich eine Trennung aufgrund der vor- handenen Kapselung automatisch einstellt. Wie bereits oben dargelegt wurde, hängt die Frage, ob die Kapselung ei- nen Gasaustauch in ausreichendem Maße verhindert, nicht nur vom Kapselungs- grad ab, sondern auch vom Sauerstoffgehalt der äußeren Schutzgasatmosphäre und von der Luftströmung. Diesbezüglich finden sich in K4 keine Angaben. Damit 75 76 77 78 79 80 81 82 - 19 - ist der Entgegenhaltung nicht eindeutig und unmittelbar zu entnehmen, dass ein Gasaustausch unterbunden wird. e) K5 nimmt den Gegenstand von Patentanspruch 1 ebenfalls nicht vorweg. aa) K5 offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines Verbundkörpers aus Keramik- und Metallplatten (7, 8) mittels eines Aktivmetall-Hartlöt- oder Direct-Bonding-Verfahrens. K5 bezeichnet es als Nachteil bekannter Hartlötverfahren, dass ein char- genweise beladener Ofen verwendet werden müsse, da sonst das Vakuum bzw. die antioxidative Atmosphäre nicht aufrechterhalten werden könne. Dies führe zu großen Stückzahlen, Mängeln bei der Temperaturregelung und tendenziell grö- ßeren Schwankungen in der Produktqualität (K5a Abs. 7). Zur Lösung wird vor- geschlagen, einen oder mehrere Schichtkörper aus Keramik- und Metallplatten mit oder ohne Verbundmittel im Innenkasten eines Ofens anzuordnen und durch eine außerhalb des Innenkastens angeordnete Hauptheizung sowie eine inner- halb des Kastens angebrachte Hilfsheizung zu erhitzen (K5a Abs. 9). Als geeignete Verbindungsmethoden werden DBC und Aktivmetall-Hartlö- ten benannt (K5a Abs. 14). Der beispielhaft beschriebene Innenkasten weist eine fest verschlossene Kistenform auf. Als mögliche Alternative wird eine tischför- mige Ausführung mit einer Fläche benannt, die mindestens eine Seite der Schichtkörper oder die Hilfsheizung bedecken kann (K5a Abs. 18). Als Vorteil der Hilfsheizung wird angeführt, sie ermögliche eine bessere Regelung der Wärmemengen, die den einzelnen Schichtkörpern zugeführt werde, da die Wärme gleichmäßig und ungehindert auf die Metallplatten übertra- gen werde (K5a Abs. 20). 83 84 85 86 87 88 - 20 - Bei einem Ausführungsbeispiel werden die Schichten durch Hartlöten mit- einander verbunden (K5a Abs. 27). Während des Erhitzens herrscht ein Vakuum von maximal 1 · 10-5 Torr (K5a Abs. 29). bb) Damit sind die Merkmale 1 und 2 offenbart. cc) Nicht offenbart sind die Merkmale 2.1, 2.2 und 2.2.1. (1) K5 beschreibt lediglich die Durchführung des Verfahrens unter Va- kuum. Dies reicht aus den oben angeführten Gründen zur Verwirklichung der Merkmale "Schutzgas" und "Schutzgasatmosphäre" nicht aus. (2) Dass K5 in der Beschreibung des Stands der Technik auch eine antioxidante Atmosphäre erwähnt, führt entgegen der Auffassung der Berufung nicht zu einer abweichenden Beurteilung. Dabei kann dahingestellt bleiben, ob sich, wie das Patentgericht angenom- men hat, aus den Ausführungen in K5 ergibt, dass dieser Begriff dort als Syno- nym für Vakuum verwendet wird. Den Ausführungen zu der in K5 vorgeschlage- nen Lösung lässt sich jedenfalls nicht unmittelbar und eindeutig entnehmen, dass auch diese wahlweise unter Vakuum oder unter Schutzgasatmosphäre ausge- führt werden kann. f) K6 nimmt den geschützten Gegenstand ebenfalls nicht vorweg. aa) K6 offenbart ein Verfahren zur direkten Verbindung von Metallen mit Substraten (S. 2). Als Verbindungsmittel wird ein Material ausgewählt, das mit dem Metall eine eutektische Legierung bildet. Metall und Substrat werden in einer inerten Atmosphäre auf eine Tempe- ratur erhitzt, die unterhalb des Schmelzpunkt des Metalls, vorzugsweise aber re- lativ nahe bei diesem Punkt liegt (S. 5 Abs. 3). Als Ausführungsbeispiel wird ein Verfahren geschildert, bei dem zunächst Kupfer an der Oberfläche oxidiert wird 89 90 91 92 93 94 95 96 - 21 - (S. 19 Abs. 3). Das Oxid wird nur dazu eingesetzt, Sauerstoff für das Verbin- dungsverfahren zu liefern. Deshalb muss der Sauerstoffvorrat gering sein (S. 20 Abs. 1). Hierzu muss das Verfahren in einer inerten Atmosphäre durchgeführt werden (S. 20 Abs. 2). Eine abgewandelte Ausführungsform ist in der nachfolgend wiedergege- benen Figur 17 dargestellt. Das kreisringförmige Keramikgehäuse 132 wird mittels oxidierter Kupfer- formstücke 145 (S. 30 Abs. 2) mit einer Kupfer-Kontaktscheibe 152 und einem Kupfer-Kontaktflansch 153 verbunden. Hierzu wird die gestapelte Anordnung zwischen zwei Blöcke 154, 155 aus feuerfestem Stein eingefügt. Um während des Verbindungsvorgangs einen Druck zu erhalten und einen hermetisch dichten 97 98 - 22 - Verschluss zu gewährleisten, wird vorzugsweise ein Gewicht 156 aufgelegt (S. 31 Abs. 2). bb) Damit sind die Merkmale 1, 2, 2.1 und 2.1.1 offenbart. cc) Jedenfalls im Ergebnis zutreffend hat das Patentgericht angenom- men, dass die Merkmalsgruppe 2.2 nicht offenbart ist. Die Ausführungen in K6, wonach die Blöcke 154, 155 und das Gewicht 156 eine hermetische Abdichtung bewirken, deuten allerdings darauf hin, dass ein Gasaustauch zwischen dem Bereich innerhalb des oben und unten abge- deckten Keramikgehäuses 132 und der Umgebung unterbunden wird und dies eine Verbindung dieses Gehäuses mit den beiden Formstücken 145 begünstigt. Bei dieser Anordnung sind das Keramiksubstrat und die mit diesem zu verbindenden Metallfolien aber nicht in einem durch eine Kapsel gebildeten Re- aktionsraum angeordnet. Vielmehr bilden sie selbst einen Teil der Kapselung. g) Entgegen der Auffassung der Berufung ist der Gegenstand von Pa- tentanspruch 1 auch in K7 nicht vollständig offenbart. aa) K7 offenbart ein Verfahren zur Herstellung von Metall-Keramik-Ver- bundmaterialien. Ein mit oxidierter Metallfolie 1 bedecktes Keramiksubstrat 2 wird auf einem flachen Träger 3 positioniert und in einen Durchlaufofen 5 verbracht (Sp. 4 Z. 45- 47), dessen Tunnel 6 eine Vorheizzone I, drei Heizzonen II bis IV und eine Ab- kühlzone V aufweist (Sp. 4 Z. 5-10). In der zentralen Heizzone III werden die Teile auf eine Temperatur erhitzt, die zwischen der eutektischen Temperatur des Gemischs aus Kupferoxid und Kupfer (1065 °C) und unterhalb der Schmelztem- peratur des Metalls (1083 °C) liegt (Sp. 4 Z. 49-56). In den Heizzonen II und III herrscht eine Stickstoffatmosphäre mit Zugabe von 20 bis 50 ppm [parts per mil- lion by volume] Sauerstoff (Sp. 4 Z. 60-63). 99 100 101 102 103 104 105 - 23 - bb) Entgegen der Auffassung der Berufung ist damit die Merkmals- gruppe 2.2 nicht offenbart. (1) Wie oben dargelegt wurde, ist eine Kapsel im Sinne von Merkmal 2.2 ein Gebilde, das das darin untergebrachte Material von mehreren Seiten umgibt. Der in K7 offenbarte flache Träger 3 erfüllt diese Voraussetzung nicht. Er hat weder Seitenwände noch einen Deckel. (2) Darüber hinaus ergibt sich weder aus der Beschreibung von K7 noch aus den darin enthaltenen Figuren, dass der Träger 3 so ausgelegt ist, dass er eine Trennung zwischen zwei Atmosphärenbereichen bewirken könnte. Entgegen der Auffassung der Berufung kann eine solche Trennung nicht schon deshalb angenommen werden, weil sie sich nach der geschützten Lehre automatisch einstellt. Wie bereits oben dargelegt wurde, müssen Kapselungs- grad, Strömungsrichtung und Sauerstoffgehalt gezielt aufeinander abgestimmt werden, um eine Trennung zu erreichen. 3. Der Gegenstand von Patentanspruch 1 beruht auch auf erfinderi- scher Tätigkeit. a) Allein aus K7 ergab sich keine Anregung zu einer Ausgestaltung nach den Vorgaben des Streitpatents. aa) Wie auch die Berufung im Ansatz nicht verkennt, gibt K7 dem Fach- mann keinen Hinweis auf die Verwendung einer Kapsel zur Aufnahme von Kera- miksubstrat und Metallfolie während des Verfahrens und zur Trennung einer in- neren von einer äußeren Schutzgasatmosphäre. 106 107 108 109 110 111 112 113 114 - 24 - bb) Ob, wie die Berufung meint, der vom Streitpatent angestrebte Effekt hoher Abreißfestigkeiten und blanker Kupferoberflächen mit dem in K7 offenbar- ten Verfahren auch ohne Einsatz einer Kapsel erreicht werden kann, ist für die Beurteilung unerheblich. Wenn das diesbezügliche Vorbringen der Berufung zuträfe, ergäbe sich daraus lediglich, dass das von Patentanspruch 1 geschützte Verfahren nicht die einzige Möglichkeit ist, den angestrebten Erfolg zu erzielen. Letzteres stünde der Patentfähigkeit allenfalls dann entgegen, wenn für den Fachmann am Prioritäts- tag ersichtlich gewesen wäre, dass es letztlich beliebig ist, ob das Material mit oder ohne Kapsel im Sinne der Merkmalsgruppe 2.2 zusammengefügt wird. Kon- krete Anhaltspunkte dafür ergeben sich weder aus dem Berufungsvorbringen noch aus sonstigen Umständen. b) Aus K8 ergab sich keine Anregung zur Ergänzung des in K7 offen- barten Verfahrens um die Merkmalsgruppe 2.2. aa) In K8 wird die Herstellung keramischer Mehrschicht-Leiterplatten beschrieben, auf denen Chipbauteile angebracht und miteinander verdrahtet werden können. K8 befasst sich mit einer aus dem damaligen Stand der Technik bekann- ten Methode, bei der die einzelnen Keramikschichten mit Kupferoxidpaste in einem einheitlichen Brennvorgang zusammengefügt werden und anschließend auf die oberste Keramikschicht in einem getrennten Brennvorgang mittels Kupferpaste eine weitere Leiterschicht aufgebracht wird. Demgegenüber sei es wünschenswert, auf der obersten Schicht ebenfalls Kupferoxidpaste aufzutragen und alle Sintervorgänge in nur einem Brennvorgang zu bewirken. Bei dieser Vor- gehensweise könne es jedoch zu einer inhomogenen Wärmeübertragung und damit zu Verformungen kommen. Um dem entgegenzuwirken, werde die Leiter- platte oben mit einer Aluminiumoxidplatte abgedeckt, bevor sie in den Förder- 115 116 117 118 - 25 - band-Sinterofen eingeführt werde. Hierdurch könne aber das organische Binde- mittel nicht vollständig entfernt werden, weil eine reduktive Atmosphäre entstehe (K8a Abs. 5-9). Zur Lösung dieses Problems schlägt K8 vor, Keramikplatten mit Bohrun- gen als Unterlage und Deckplatte einzusetzen. Dies bewirke eine günstige Zirku- lation geringfügiger Mengen von Sauerstoff (K8a Abs. 11-13). bb) Daraus ergab für den Fachmann keine Anregung, eine Erhöhung des Sauerstoffgehalts durch die Kapselung zu verhindern. 119 120 - 26 - K8 verfolgt das Ziel, den Sauerstoffgehalt zu erhöhen. Um das dafür an- gewendete Lösungsprinzip für das in K7 offenbarte Verfahren nutzbar zu ma- chen, hätte der Fachmann die in K8 vorgeschlagene Lösung in ihr Gegenteil ver- kehren müssen. Hierzu ergab sich aus K8 keine hinreichende Veranlassung. Da- bei kann dahingestellt bleiben, ob der Fachmann aus K8 die allgemeine Erkennt- nis ableiten konnte, dass der Sauerstoffgehalt durch Ausgestaltung der Strö- mungswege beeinflusst werden kann. Auch aus dieser Erkenntnis ergab sich noch nicht die Anregung, den Sauerstoffgehalt bei dem in K7 offenbarten Verfah- ren durch den Einsatz einer Kapsel zu beeinflussen. c) Aus K3 ergaben sich keine weitergehenden Anregungen. aa) K3 offenbart ein Stapelsystem für das Sintern von Keramiksubstra- ten. Ein Ausführungsbeispiel ist in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 1 dargestellt. 121 122 123 - 27 - Das System 10 umfasst einen Träger 14, auf dem mehrere Rahmen 12 angeordnet sind, die ihrerseits durch Kacheln 16 voneinander getrennt sind. Die Rahmen weisen seitliche Öffnungen 18 auf, deren Höhe variieren kann. Die hierzu angebrachten Aussparungen 20 sind so gestaltet, dass das beim Einbren- nen der Substrate entstehende Gas aus einem durch den Rahmen 12 abge- grenzten Raum 22 entweichen kann (Sp. 2 Z. 4-20). bb) Damit ist zwar eine Kapsel im Sinne von Merkmal 2.2 offenbart, de- ren Kapselungsgrad so gestaltet ist, dass sich in ihrem Innenraum eine für den angestrebten Vorgang günstige Gaszusammensetzung bildet. Aus dieser allge- meinen Erkenntnis ergab sich aber keine Anregung, eine solche Kapsel bei dem in K7 offenbarten Verfahren einzusetzen, um den Sauerstoffgehalt zu beeinflus- sen. d) Aus K9 ergaben sich ebenfalls keine diesbezüglichen Anregungen. aa) K9 befasst sich mit der Herstellung von Metall-Keramik-Verbund- materialien. Als aus dem Stand der Technik bekannte Methode wird das Direct-Bon- ding-Copper-Verfahren angeführt. Die Anwendung dieses Verfahrens auf Alumi- niumnitridsubstrate sei aber schwierig, weil diese eine vorherige Oxidationsbe- handlung benötigten und der Toleranzbereich für die Dicke der Oxidschicht sehr schmal sei (K9a Abs. 6). Als vorteilhafte Alternative für diesen Einsatzzweck zeigt K9 das Aktivme- tall-Hartlöten auf. Bei diesem Verfahren könne es aber leicht zur Oxidation des Aktivmetalls kommen. Um dem vorzubeugen, sei es notwendig, den Lötvorgang im Vakuum durchzuführen, zum Beispiel bei 3 · 10-5 Torr (K9a Abs. 8). Dies habe im Stand der Technik den Einsatz von kostengünstigen Carbonöfen ausge- schlossen, weil diese beim Erhitzen Sauerstoff freisetzten (K9a Abs. 12). 124 125 126 127 128 129 130 - 28 - Um den Einsatz von Carbonöfen zu ermöglichen, schlägt K9 vor, den aus Keramiksubstrat, Hartlot und Metallplatte bestehenden Schichtkörper in eine Auf- nahmevorrichtung einzuspannen (K9a Abs. 16). Der Grund für die vorteilhafte Wirkung dieser Vorgehensweise sei vermutlich darin zu sehen, dass in den klei- nen Zwischenraum der Aufnahmevorrichtung nur schwer ein Gasstrom eindrin- gen könne und deshalb die Wahrscheinlichkeit, dass das Hartlot in Kontakt mit umgebendem Sauerstoff gelange, gering sei (K9a Abs. 32). bb) Auch daraus mag sich die allgemeine Erkenntnis ergeben, dass unerwünschte Oxidationsvorgänge durch gezielte Strömungsführung vermieden werden können. Hieraus ergab sich aber keine Anregung, dieses Prinzip bei dem in K7 offenbarten Verfahren dadurch nutzbar zu machen, dass das zusammen- zufügende Material in einer Kapsel im Sinne von Merkmalsgruppe 2.2 unterge- bracht wird. Dies gilt umso mehr, als K9 zum zugrundeliegenden Wirkungsprinzip nur Vermutungen anstellt. e) Eine andere Beurteilung ergibt sich auch nicht aus K10. aa) K10 offenbart ein Verfahren zur Herstellung von keramischen Werk- stoffen, insbesondere Ferriten. Die Werkstoffe werden auf Transportelementen durch einen Tunnelofen mit verschiedenen Räumen, unterschiedlichen Temperaturzonen und verschie- denen gasförmigen Atmosphären geleitet. Hierzu wird die natürliche Zirkulation des Gases in Längsrichtung des Ofens durch Transportelemente unterbunden, so dass bestimmte gasförmige Atmosphären mit unterschiedlichen Sauerstoffge- halten aufrechterhalten werden können und der Tunnel in verschiedene Zonen unterteilt wird. In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Transportelemente 4 L-för- mig ausgestaltet, wie dies in der nachfolgend abgebildeten Figur 1 dargestellt ist. 131 132 133 134 135 - 29 - Ein Transportelement 4, in dem die Werkstoffe 6 angeordnet werden kön- nen, wird durch eine Platte 5 gebildet, die eine vertikale Wand 7 aufweist, die in Länge und Breite recht exakt an die Maße des Tunnels angepasst sind (S. 2 rechts Abs. 3). Eine andere Ausführungsform ist in der nachfolgend wiedergegebenen Fi- gur 5 dargestellt. 136 137 - 30 - Ein solches Transportelement besteht aus einer Gleitplatte 10, auf der ein Rahmen 13 angeordnet ist. Die Vorder- und Rückseite des Rahmens bilden Wände eines Raumes in dem Tunnel. Auf diesem Rahmen können zwei Platten 12 angeordnet sein, zwischen denen ein bestimmter Zwischenraum belassen wird, um den Durchtritt des Gases zu gestatten. Auf diesen zwei Platten kann erneut ein Rahmen angeordnet werden und hierdurch eine Stapelung der Trans- portelemente im Ofen erreicht werden (S. 3 links Abs. 3). Ein solcher Stapel ist schematisch in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 6 dargestellt. 138 - 31 - Bei beiden Ausführungsformen wird pro Zeiteinheit jedem Raum eine Menge an Behandlungsgas mit einem bestimmten Sauerstoffgehalt zugeführt. Der Sauerstoffgehalt des Behandlungsgases bleibt so in jedem Raum konstant (S. 3 links Abs. 4). Insbesondere kann in einzelnen Räumen ein Gas aufrecht- erhalten werden, das 14 % Sauerstoff enthält, und in einem dazwischenliegen- den Raum ein Gas, das 4 % Sauerstoff enthält. Es können aber auch andere Sauerstoffgehalte realisiert werden (S. 3 rechts Abs. 1). bb) Daraus ergab sich, wie das Patentgericht zu Recht angenommen hat, schon deshalb keine Anregung zur Weiterentwicklung des in K7 offenbarten Verfahrens, weil der Sauerstoffgehalt in K10 weitaus höher ist. Aus dem allgemeinen Hinweis in K10, dass auch andere Sauerstoff- gehalte realisiert werden können, ergab sich für den Fachmann allenfalls, dass 139 140 141 - 32 - er den Sauerstoffgehalt im Prozentbereich variieren kann. Konkrete Anhalts- punkte dafür, dass die offenbarte Vorgehensweise auch im Bereich von weniger als einem Promille eingesetzt werden kann, sind demgegenüber nicht ersichtlich. cc) Unabhängig davon hatte der Fachmann entgegen der Auffassung der Berufung ausgehend von K7 ohnehin keine Veranlassung, nach Lösungen zu suchen, die Verwirbelungen im Tunnelofen vermeiden. Nach der Beschreibung von K7 wird das dort verwendete Gasgemisch durch Verwirbelung gleichmäßig in den Heizzonen I, II und III verteilt (Sp. 5 Z. 1-3). Durch besondere Düsenanordnungen und -formen an den Gaseintritts- stutzen 15 und 16 sowie durch Anpassung der Volumendurchflüsse kann eine Trennung zwischen der Stickstoff-Sauerstoff-Atmosphäre in den Zonen I bis III und der reinen Stickstoff-Atmosphäre in den Zonen IV und V ohne zusätzliche Sperrvorrichtungen bewirkt werden (Sp. 5 Z. 40-47). Vor diesem Hintergrund ergab sich für den Fachmann keine Anregung, Verwirbelungen innerhalb der Heizzonen durch zusätzliche Mittel entgegenzuwirken. f) Aus K24 ergab sich für den Fachmann ebenfalls keine Anregung zu einer Abwandlung in Richtung auf die Lehre des Streitpatents. aa) K24 offenbart ein Verfahren zum Metallisieren einer Kupferschicht. Ein keramischer Körper mit einer auf seiner Oberfläche ausgebildeten Kupferschicht wird in einer abgedichteten Kammer eines Behälters platziert. In einer bevorzugten Ausführungsform weist der Behälter einen Deckel mit einer Öffnung auf (Sp. 3 Z. 4-10). Hierdurch kann innerhalb des Behälters befindliches Gas nach außen befördert werden (Sp. 3 Z. 9-19). Dadurch kann die Innenat- mosphäre der Kammer konstant gehalten (Sp. 2 Z. 63-64) und von einer äußeren Atmosphäre getrennt werden (Sp. 2 Z. 34-41). 142 143 144 145 146 - 33 - In einem weiteren Schritt wird dem Behälter Wärme zugeführt, wobei die Außenumgebung des Behälters in einer inerten Atmosphäre gehalten wird. Hier- durch werden sowohl der keramische Körper als auch das in der Kammer befind- liche Gas auf eine Temperatur erhitzt, die ausreichend ist, damit der Druck des Gases über den vorbestimmten Wert ansteigt. Hierdurch wird das Gas wenigs- tens teilweise aus der Kammer evakuiert und die Kupferschicht wird wärmebe- handelt (Sp. 2 Z. 44-46; Sp. 2 Z. 56 bis Sp. 3 Z. 3). In einem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Wärme- behandlung in einem Tunnelofen, der mit einem Förderband ausgestattet ist. Mittig ist eine Heizzone angeordnet. Über zwei Kanäle 27, 27' wird ein inertes Gas an den sich gegenüberliegenden Seiten der Heizzone eingeleitet. Hierdurch stellt sich eine inerte Atmosphäre in der Heizzone ein. Eine Mehrzahl von Kam- mern 29 wird auf dem Förderband angeordnet (Figur 1). Diese werden beim Pas- sieren der Heizzone aufgeheizt. Als Folge entweicht Luft aus den Kammern. Gleichzeitig entweicht Sauerstoff. Hierdurch stellt sich in der Kammer eine Art Vakuum mit einem äußerst geringen Sauerstoffpartialdruck ein (Sp. 5 Z. 55-57). Die Verbindung der Kupfer-Metall Schicht wird dadurch optimiert (Sp. 5 Z. 65-68). bb) Damit sind zwar eine Kapsel und eine Trennung zwischen innerer und äußerer Atmosphäre offenbart, nicht aber eine Schutzgasatmosphäre im In- neren der Kapsel. Die Bildung einer inerten Atmosphäre wird in K24 nur für die Außenumge- bung des Behälters und die Heizzone offenbart, nicht aber für das Innere der Kammern. Diese sind beim Einführen in den Ofen bereits verschlossen. Sie las- sen nur das Entweichen von Luft und Sauerstoff zu, nicht aber das Eindringen von Schutzgas aus der äußeren Atmosphäre. 147 148 149 150 151 - 34 - Dies gilt auch für das von der Berufung angeführte Ausführungsbeispiel gemäß Figur 4. In dieser Variante weisen die Kammern eine Öffnung auf, die mit einem Einwegventil 40 verschlossen ist. Dieses Ventil lässt eine Gasströmung ebenfalls nur vom Inneren in die Außenumgebung zu (Sp. 6 Z. 29-32). cc) Eine Veranlassung, abweichend von K24 auch im Kapselinneren eine Schutzgasatmosphäre zu erzeugen und diese Vorgehensweise bei einem Direct-Bonding-Verfahren einzusetzen, ist nicht ersichtlich. Wie die Berufungserwiderung zutreffend geltend macht, erschöpft sich die Zielsetzung von K24 darin, den in der Kapsel vorhandenen Sauerstoff möglichst vollständig zu entfernen. Angesichts dessen hatte der Fachmann keinen Anlass, den in K24 offenbarten Lösungsansatz auf Direct-Bonding-Vorgänge zu übertra- gen, die einen bestimmten, wenn auch nur geringen Sauerstoffanteil benötigen. g) Entgegen der Auffassung der Berufung ist der Gegenstand von Patentanspruch 1 auch ausgehend von K5 nicht nahegelegt. aa) Wie bereits oben dargelegt wurde, ist in K5 nicht offenbart, dass das dort vorgeschlagene Verfahren auch unter Schutzgasatmosphäre eingesetzt werden kann. Eine diesbezügliche Anregung ist ebenfalls nicht ersichtlich. bb) Unabhängig davon steht bei K5 das Problem der gleichmäßigen Wärmeverteilung im Vordergrund. Selbst wenn der Fachmann den Einsatz von Schutzgas anstelle eines Vakuums erwogen hätte, wäre für ihn aus der Entge- genhaltung folglich nicht ersichtlich gewesen, dass er den inneren Behälter auch dazu einsetzen kann, die innere Schutzgasatmosphäre von der äußeren zu tren- nen. cc) Aus der US-amerikanischen Patentschrift 3,766,634 (K14) und der japanischen Patentschrift Sho61-270269 (K15) ergäben sich, wie auch die Beru- fung nicht verkennt, allenfalls dann weitergehende Anregungen, wenn der Fach- mann Veranlassung gehabt hätte, das in K5 offenbarte Verfahren auch unter 152 153 154 155 156 157 - 35 - Schutzgasatmosphäre einzusetzen. Diese Voraussetzung ist entgegen der Auf- fassung der Berufung nicht erfüllt. h) Eine andere Beurteilung ergibt sich auch nicht mit Blick auf die deut- sche Offenlegungsschrift 30 36 128 (K16) und die japanische Offenlegungs- schrift Hei7-80662 (K17). aa) K16 offenbart ein Verfahren zum direkten Verbinden von Kupferfo- lien mit Oxidkeramiksubstraten. Hierbei wird ein mit einer Kupferfolie belegtes Oxidkeramiksubstrat in sauerstoffhaltiger Atmosphäre erhitzt bis zu einer Temperatur oberhalb der eu- tektischen Temperatur von Kupfer und Kupferoxid, aber unterhalb der Schmelz- temperatur von Kupfer (S. 2 Z. 4-10). Das Erhitzen erfolgt in einem Vakuumofen bei einem Druck von höchstens 1 mbar. In der Ofenatmosphäre wird ein Sauer- stoff-Partialdruck zwischen 0,001 und 0,1 mbar aufrechterhalten (S. 6 Z. 23-27). bb) Damit fehlt es entgegen der Auffassung der Berufung an einer Offenbarung der Merkmale 2.1, 2.2 und 2.2.1. Wie bereits oben dargelegt wurde, stellt ein Vakuum keine Schutzgas- atmosphäre im Sinne dieser Merkmale dar. cc) Angesichts dessen bedarf es keiner Entscheidung, ob der Fach- mann Anlass hatte, das in K16 offenbarte Verfahren mit dem Verfahren aus K17 zu kombinieren, das ebenfalls in einem Vakuumofen ausgeführt wird. 158 159 160 161 162 163 - 36 - IV. Die Kostenentscheidung beruht auf § 121 Abs. 2 PatG in Verbin- dung mit § 97 Abs. 1 ZPO. Bacher Kober-Dehm Marx Rombach Rensen Vorinstanz: Bundespatentgericht, Entscheidung vom 10.04.2018 - 3 Ni 29/16 (EP) - 164